Manomètre capacitif à videApplication
Four à vide
Emballage sous vide
Stérilisateur plasma
Lyophilisation
Distillation sous vide
Industrie pétrochimique
Industrie des semi - conducteurs
Équipement de processus PECVD / ALD
Équipement de processus de gravure plasma
Manomètre capacitif à vide Caractéristiques principales
Connecteurs standard de l'industrie
Haute précision: lecture standard ± 0,5%, lecture facultative ± 0,25%
Diaphragmes de précision garantissent d'excellentes performances
Large plage de compensation de température de fonctionnement
Faible bruit du circuit, réponse rapide
Pas vulnérable aux changements des conditions environnementales
Excellente conception anti - surpression
Profil du produit

Surcharge et pression d'éclatement nominale
Spécifications paramètre
| Gamme de mesure | 10Torr. A/1,33 kPa. Un |
| Précision | ± 0,5% lecture de livres; ± 0,25% de lecture (facultatif) |
| Tension de fonctionnement | (18 à 24) V DC |
| Signal de sortie | (0 à 10) V DC |
| température de fonctionnement | (10~50)℃ |
| Moyen de mesure | Gaz |
| Connecteurs électriques | Interface analogique 9 broches |
| Connexion de processus | KF16 |
| Temps de préchauffage électrique | 10 minutes |
| Matériau du boîtier | acier inoxydable |
| Matériau de réception | 镍基合金 |
Définition de câblage

