• Haute précision ± 1,0% point de consigne
  La linéarité de ce contrôleur de Débit massique est compensée par une courbe d'approximation polynomiale et permet une grande précision dans la plage de contrôle du débit. Pour améliorer la précision réelle des gaz, les données d'étalonnage des différents gaz de process sont mesurées par le système de mesure de gaz standard de la société horiba Stec.
• Réponse haute vitesse
  Equipé d'un "système PID variable" qui permet une réponse d'une seconde entre deux consignes quelconques. Le PID variable change constamment en fonction des paramètres du point de trafic. Optimisez le coefficient PID en cas de changement de débit et de gaz à pleine échelle.
• Solutions Multi - gaz / Multi - gamme
  Le logiciel de configuration permet de modifier rapidement et facilement les spécifications. Une caractéristique importante est qu'il n'est pas nécessaire de retirer le régulateur de Débit massique du panneau de commande de gaz ou de la tuyauterie pour effectuer des modifications. Réduit le nombre de contrôleurs de Débit massique de rechange nécessaires, économisant du temps et des coûts.

Le Contrôleur de Débit massique sec - z500x convient à une grande variété d'applications ainsi qu'à la fabrication de semi - conducteurs.