Les microscopes d'inspection Olympus Semiconductor / fpd mx63 et mx63l sont optimisés pour l'inspection de haute qualité de plaquettes jusqu'à 300 mm, d'écrans plats, de cartes de circuits imprimés et d'autres plaquettes de grands échantillons. Leur conception modulaire vous permet de choisir les composants dont vous avez besoin pour personnaliser votre système dans votre application. La microscopie d'inspection Olympus Semiconductor / fpd combinée au logiciel d'analyse d'image Olympus Stream simplifie l'ensemble de votre flux de travail, de l'observation à la création de rapports.

Outils analytiques de pointe

Les capacités d'observation polyvalentes de la série mx63 fournissent des images claires et nettes afin que les utilisateurs puissent détecter de manière fiable les défauts dans leurs échantillons. La nouvelle technologie d'éclairage et les options d'acquisition d'images du logiciel d'analyse d'images Olympus Stream donnent aux utilisateurs plus de choix pour évaluer leurs échantillons et documenter leurs résultats.

L'invisible devient visible: mélanger observation et acquisition

Les techniques d'observation hybrides produisent des images d'observation uniques en combinant un champ sombre avec une autre méthode d'observation, telle que le champ lumineux, la fluorescence ou la polarisation. L'observation mixte permet à l'utilisateur de voir les défauts difficiles à voir avec un microscope conventionnel. Les illuminateurs LED circulaires pour l'observation du champ sombre ont une fonction de champ sombre directionnel dans laquelle un seul Quadrant est éclairé à un moment donné. Cela réduit le halo de l'échantillon et aide à visualiser la texture de surface de l'échantillon.

Structure de la plaquette semi - conductrice

Résidus de colle photolithographique sur plaquettes semi - conductrices

Créez facilement des images panoramiques: instant mia

Grâce à l'alignement multiple d'images (MIA), les utilisateurs peuvent assembler rapidement et facilement des images en déplaçant simplement le bouton KY dans une phase manuelle où une plate - forme motorisée n'est pas nécessaire. Le logiciel de streaming Olympus utilise la reconnaissance de mode pour générer des images panoramiques qui donnent aux utilisateurs un champ de vision plus large.

Créer toutes les images Focus: EFI

La fonction EFI (Extended Focus Imaging) d'Olympus Stream capture des images d'échantillons dont la hauteur s'étend au - delà de la profondeur de mise au point de la cible et les superpose pour créer une image entièrement focalisée. L'EFI peut être exécuté manuellement ou électriquement avec l'axe Z et crée un diagramme d'altitude qui facilite la visualisation de la structure. Vous pouvez également créer des images EFI hors ligne dans streaming Desktop.

Capturer les zones claires et sombres avec HDR

En utilisant un traitement d'image avancé, la plage dynamique élevée (HDR) régule les différences de luminosité dans l'image pour réduire l'éblouissement. Le HDR améliore la qualité visuelle des images numériques, contribuant ainsi à produire des rapports professionnels.

De la mesure de base à l'analyse

La mesure est essentielle pour le contrôle et l'inspection de la qualité et des processus. Dans cet esprit, même le package Olympus Stream d'entrée de gamme comprend un menu complet de fonctions de mesure interactives et tous les résultats de mesure sont enregistrés dans un fichier image pour une documentation ultérieure. En outre, la solution Olympus Stream Materials offre une interface intuitive et orientée Workflow pour l'analyse d'images complexes. En cliquant sur un bouton, les tâches d'analyse d'image peuvent être effectuées rapidement et avec précision. Avec une réduction significative du temps de traitement des tâches répétitives, l'opérateur peut se concentrer sur l'inspection à portée de main.

Génération de rapports

La création de rapports prend généralement plus de temps que la capture d'images et la mesure. Le logiciel de streaming Olympus offre une création de rapports intuitive pour générer des rapports intelligents et complexes à plusieurs reprises en fonction de modèles prédéfinis. L'édition est simple et les rapports peuvent être exportés vers le logiciel Microsoft Word ou PowerPoint. En outre, la fonction de rapport du logiciel Olympus Stream permet l'acquisition d'images à échelle numérique et agrandies. Le fichier de rapport est d'une taille raisonnable pour faciliter l'échange de données par courrier électronique.

Options de caméra indépendante

Avec une caméra de microscope DP22 ou dp27, la série mx63 devient un système autonome avancé. La caméra peut être contrôlée par un boîtier compact qui ne nécessite qu'un espace réduit, aidant les utilisateurs à tirer le meilleur parti de l'espace de laboratoire tout en capturant des images nettes et en effectuant des mesures de base.

Soutenez la conception de Cleanroom Conformity

La série mx63 est conçue pour fonctionner en salle blanche et contribuer à réduire le risque de contamination ou d'endommagement des échantillons. Le système a une conception ergonomique qui aide l'utilisateur à se sentir à l'aise, même pendant une utilisation prolongée. La série mx63 est conforme aux normes internationales, notamment semi - s2 / s8, ce et UL.

Intégration du chargeur de plaquettes en option - système al120 *

Le chargeur de plaquettes optionnel peut être connecté à la série mx63 pour transférer les plaquettes de semi - conducteur de silicium et de composés de la cassette à la phase de microscopie sans utiliser de pinces ou de barres. Excellentes performances et fiabilité pour des inspections macroscopiques efficaces à l'avant et à l'arrière, tandis que le chargeur contribue à améliorer la productivité du laboratoire.

Mx63 en combinaison avec le chargeur de plaquettes al120 (version 200 mm) * Le E120 n'est pas disponible dans la région EMEA.

Inspection de nettoyage rapide

La série mx63 répond à l'inspection des plaques sans poussière. Toutes les pièces motorisées adoptent une structure blindée et appliquent un traitement antistatique sur des pièces telles que des supports de microscope, des tubes, des hottes respiratoires, etc. La vitesse de rotation des ailes nasales motorisées est plus rapide que celle des ailes nasales manuelles, ce qui réduit le temps d'inspection tout en gardant la main de l'opérateur en dessous de la plaque, réduisant ainsi la contamination potentielle.

Conception de systèmes permettant des observations efficaces

Grâce à la combinaison d'un embrayage intégré et d'un bouton XY, l'étage XY est capable d'effectuer simultanément des mouvements en deux étapes, grossiers et fins. Cette phase contribue à l'efficacité de l'observation, même pour de grands échantillons, tels que des plaquettes de 300 mm.La large gamme de tubes d'observation inclinés permet à l'opérateur de s'asseoir sous le microscope dans une position confortable.

Accepte toutes les tailles de plaquettes

Le système est associé à différents types de plaquettes de 150 - 200 mm et 200 - 300 mm et de plaques de verre. Si la taille de la plaquette change sur la ligne de production, le cadre du microscope peut être modifié à moindre coût. Avec la série mx63, différentes étapes peuvent être utilisées pour accueillir des lignes d'inspection sur des plaques de 75 mm, 100 mm, 125 mm et 150 mm.

Contrôle intuitif du Microscope: confortable et facile à utiliser

La configuration du Microscope est simple à utiliser, ce qui facilite le réglage et la reproduction des paramètres du système par l'utilisateur.

Trouvez rapidement le focus: Focus assistance

L'insertion d'une aide à la focalisation dans le chemin optique permet une focalisation aisée et précise sur un échantillon à faible contraste, par example une feuille nue.

Restaurer facilement les paramètres du Microscope: codage Hardware

La fonction de codage combine les paramètres matériels de la série mx63 avec le logiciel d'analyse d'image Olympus stream. Les méthodes d'observation, l'intensité de l'éclairage et le grossissement sont automatiquement enregistrés par le logiciel et stockés dans les images associées. Comme les réglages peuvent être facilement reproduits, tout opérateur peut effectuer le même contrôle de qualité avec une formation minimale.

Contrôle ergonomique plus rapide et opération plus confortable

Les commandes de changement de cible et de réglage du diaphragme sont placées sous le microscope, de sorte que l'utilisateur n'a pas à desserrer le bouton de mise au point ou à écarter sa tête de l'oculaire pendant l'utilisation.

Observation plus rapide grâce au gestionnaire d'intensité lumineuse et au contrôle automatique de l'ouverture

Dans un microscope normal, chaque observateur doit ajuster l'intensité lumineuse et l'ouverture. La série mx63 permet aux utilisateurs de régler l'intensité lumineuse et les conditions d'ouverture pour différents grossissements et méthodes d'observation. Ces paramètres peuvent être facilement rappelés pour aider les utilisateurs à gagner du temps et à maintenir une excellente qualité d'image.

Gestionnaire d'intensité lumineuse

Intensité lumineuse conventionnelle	Lorsque vous modifiez le grossissement ou la méthode d'observation, l'image devient trop claire ou sombre.
Gestionnaire d'intensité lumineuse	Lorsque vous modifiez le grossissement ou les observations, Ajustez automatiquement l'intensité lumineuse pour produire une excellente image.

Contrôle automatique d'ouverture

Inspection de la qualité de l'imagerie optique et numérique

L'histoire d'Olympus en matière de développement d'optiques de haute qualité et de capacités d'imagerie numérique avancées a prouvé la qualité optique et l'enregistrement de microscopes offrant une excellente précision de mesure.

Performances optiques exceptionnelles: contrôle des aberrations de front d'onde

Les performances optiques d'un objectif ont un impact direct sur la qualité de l'image observée et les résultats de l'analyse. La cible Olympus uis2 à fort grossissement est conçue pour minimiser les aberrations de front d'onde, offrant des performances optiques fiables.

Mauvais front d'onde bon front d'onde (cible uis2)

Température de couleur constante: éclairage LED à lumière blanche haute intensité

La série mx63 utilise une source lumineuse LED à lumière blanche de haute intensité pour un éclairage réfléchi et transmissif. Les LED maintiennent une température de couleur constante, quelle que soit l'intensité, pour garantir une qualité d'image et une reproduction des couleurs fiables. Les systèmes LED fournissent des matériaux d'éclairage efficaces et durables pour les applications de science des matériaux.

Mesure précise: Calibration automatique

Semblable à un microscope numérique, l'étalonnage automatique est disponible lorsque vous utilisez le logiciel Olympus stream. L'étalonnage automatique aide à éliminer la variabilité humaine dans le processus d'étalonnage, ce qui conduit à des mesures plus fiables. L'étalonnage automatique utilise un algorithme qui calcule automatiquement l'étalonnage correct à partir de la moyenne de plusieurs points de mesure. Cela minimise les différences introduites par les différents opérateurs et maintient une précision constante, améliorant la fiabilité des vérifications régulières.

Image parfaitement nette: correction d'ombre d'image

Le logiciel Olympus stream est caractérisé par la correction des ombres pour s'adapter aux ombres sur les coins de l'image. Lorsqu'il est utilisé avec le réglage du seuil d'intensité, la correction d'ombre fournit une analyse plus précise.

Plaquettes semi - conductrices (images binaires)

Entièrement personnalisable

L'objectif de la série mx63 est de permettre aux clients de choisir parmi une large gamme de composants optiques adaptés aux besoins individuels d'inspection et d'application. Le système peut utiliser toutes les méthodes d'observation. Les utilisateurs peuvent également choisir parmi une variété de packages d'analyse d'image Olympus Stream pour répondre aux besoins d'acquisition et d'analyse d'images individuelles.

Deux systèmes adaptés à différentes tailles d'échantillons

Le système mx63 peut accueillir des plaquettes jusqu'à 200 mm, tandis que le système mx63l peut gérer des plaquettes jusqu'à 300 mm avec la même empreinte réduite que le système mx63. La conception modulaire vous permet de personnaliser le microscope en fonction de vos besoins spécifiques.

Compatibilité infrarouge

L'objectif infrarouge peut être réalisé avec un objectif infrarouge, ce qui permet à l'opérateur de détecter sans perte l'intérieur de la puce IC encapsulée et montée sur le PCB, en exploitant les caractéristiques du silicium transmettant l'infrarouge. Les cibles infrarouges 5X à 100X peuvent être corrigées de l'aberration chromatique par les longueurs d'onde de la lumière visible proche infrarouge.

La série mx63 est utilisée dans le domaine d'application de la microscopie à lumière réfléchie. Ces applications sont un exemple de certaines des méthodes utilisées par le système pour l'inspection industrielle.

L'infrarouge (IR) est utilisé pour rechercher d'autres défauts dans les puces IC et les dispositifs en silicium sur verre.

La lumière polarisée est utilisée pour révéler la texture de la matière et l'état des cristaux. Il est adapté pour l'inspection des structures de Wafer et LCD.

Le contraste interférentiel différentiel (DIC) est utilisé pour aider à différencier les vues des petits échantillons. Il est idéal pour les échantillons d'inspection de l'Université avec des différences élevées telles que des têtes de minute, des médias de disque dur, et des tranches polished.

Les champs sombres sont utilisés pour détecter de minuscules rayures ou défauts sur un échantillon ou pour détecter un échantillon avec une surface miroir, telle qu'une plaquette. L'éclairage hybride permet aux utilisateurs de voir les modes et les couleurs.

La fluorescence est utilisée dans les échantillons qui émettent de la lumière lorsqu'ils sont éclairés avec des filtres spécialement conçus. Ceci est utilisé pour détecter la pollution et les résidus de photorésist. L'éclairage hybride permet d'observer les résidus de photorésist et les motifs IC.

Cette technique d'observation s'applique aux échantillons transparents tels que les LCD, les plastiques et les matériaux en verre. L'éclairage hybride permet d'observer la couleur du filtre et le motif du circuit.

Olympus Semiconductor / fpd solution de microscopie d'inspection mx63 / mx63l paramètres de configuration

		MX63	MX63L
Système optique		Système optique uis2 (correction à distance infinie)
Montrer Micro Le miroir Machine Le Rack	Éclairage par lumière réfléchie	Lampe à LED, lampe halogène 12v100w, lampe à mercure 100W Méthode d'éclairage: champ clair, champ sombre Diaphragme d'ouverture électrique intégré Mode d'observation: champ clair, champ sombre, interférence différentielle (DIC), polarisation facile, fluorescence, infrarouge
	Éclairage par lumière transmise	Luminaires à transmission lumineuse: MX - tilla ou MX - tillb - MX - tilla:: diaphragme d'ouverture na0.5 - MX - tillb: diaphragme d'ouverture na0.6 Source lumineuse: LG - PS2 (lampe halogène 12 / v100 w) Mode d'observation: champ clair, polarisation simple
	Focus	Course: 32 mm Course de réglage fin par tour: 100 μm Zui petite échelle: 1 μm Livré avec limiteur de limite supérieure pour le réglage de la torsion de la poignée de réglage grossier
	Plafond de charge (y compris le banc)	8 kg	15 kg
Vue TSA Cartouche	Large champ de vision (FN 22 mm)	Trois Yeux: U - etr4 Image droite, inclinaison tri - oculaire: U - ttr - 2 Triculaire inversé: U - tr30 - 2, U - tr30ir (observation infrarouge) Binoculaire inversé: U - bi30 - 2 Image inversée, binoculaire oblique: U - tbi30
	Champ de vision Ultra Large （FN 26.5 mm）	Image positive, inclinaison tri - oculaire: MX - swettr rapport Spectral 100%: 0 ou 0: 100% Image positive, inclinaison tri - oculaire: U - swettr rapport de luminosité 100%: 0 ou 20%: 80% Trois Yeux inversés: U - swtr - 3
Convertisseur d'objectif		Convertisseur électrique six trous à champ ouvert avec fente DIC: U - d6remc Convertisseur cinq trous à champ ouvert avec emplacement de centrage automatique DIC: U - p5remc Convertisseur électrique six trous à champ clair et sombre avec fente DIC: U - d6bdremc Convertisseur cinq trous à champ clair et sombre avec slot DIC: U - d5bdremc Convertisseur cinq trous à champ clair et sombre avec emplacement de centrage automatique DIC: U - p5bdremc
Table de chargement		Entraînement par embrayage intégré, poignée droite coaxiale: MX-SIC8R Course: 210 x 210 mm Zone de transmission lumineuse: 189 x 189 mm Entraînement par embrayage intégré, poignée droite coaxiale: MX-SIC6R2 Course: 158 x 158 mm (utilisation de la lumière réfléchie)	Entraînement par embrayage intégré, poignée droite coaxiale: MX-SIC1412R2 Course: 356 x 305 mm Zone de transmission lumineuse: 356 x 284 mm
Poids		Environ: 35,6 kg (microscope rack 26kg)	Environ: 44kg (microscope rack 28,5kg)

Remarque: le contenu de la table des paramètres est une introduction aux paramètres principaux, réelsSelonLes besoins sont configurés.