Barillet d'observation trinculaire articulé à large champ de vision
Le barillet d'observation trioculaire de la charnière de l'image, l'orientation de l'image est la même que la direction réelle de l'objet, la direction du Mouvement de l'objet est la même que la direction du Mouvement de la face de l'image, ce qui facilite l'observation et l'opération.

Conception de plateforme mobile grand voyage
Conçu avec une plate - forme plate - forme de 6 pouces avec une course de 158 × 158 mm, il peut être adapté à la détection de Wafer ou FPD de taille correspondante, ainsi qu'à la détection matricielle d'échantillons de petite taille.
Convertisseur d'objectif haute précision
Le convertisseur adopte la conception de roulements de précision, la sensation de rotation est légère et confortable, la précision de positionnement répétée est élevée, la concentricité après la conversion de l'objectif est également mieux contrôlée.

Conception de structure de rack stable
Le corps de microscope de qualité de détection industrielle, le Centre de gravité bas, la rigidité élevée, le cadre métallique de haute stabilité garantissent la résistance sismique et la stabilité d'imagerie du système.
Son mécanisme de mise au point coaxiale à réglage grossier et fin en position basse à l'avant avec transformateur de tension large intégré de 100 - 240V s'adapte à la tension du réseau électrique dans différentes régions. L'intérieur de la base est conçu avec un système de dissipation de chaleur à circulation de vent qui ne surchauffe pas le rack pendant une longue période d'utilisation.

MX6RParamètres de configuration du microscope d'inspection des semi - conducteurs
Modèle |
MX6R |
MX6RT |
Méthodes d'observation sélectionnables |
Champ clair / champ sombre / lumière polarisée / DIC |
Champ clair / champ sombre / lumière polarisée / DIC / lumière transmise |
Système optique |
Système optique de correction de l'aberration chromatique lointaine infinie |
|
Oculaires |
Pl10x / 22 oculaire à point élevé à champ plat |
|
Objectif |
Lmpl - BD objectif doré à distance de travail infinie |
|
Cartouche d'observation |
Cylindre d'observation de l'image, trinoculaire articulé à 25°, rapport optique, binoculaire: trinoculaire = 100: 0 ou 0: 100 |
|
Convertisseur |
Convertisseur de champ clair et sombre à 5 trous avec fente DIC |
|
Convertisseur de champ clair et sombre à 5 trous | ||
Table de chargement |
6” Plate - forme mobile mécanique à trois niveaux, course 158x 158mm, table en verre, position droite X, y volant mobile avec poignée d'embrayage pour un mouvement rapide |
6” Plate - forme mobile mécanique à trois niveaux, course réfléchissante 158x 158mm, course de transmission: 100x100mm, table en verre, position droite X, y molette mobile avec poignée d'embrayage pour un mouvement rapide |
Corps de microscope |
Coaxial, course de réglage grossier 33mm, précision de réglage fin 0001mm, avec position supérieure du mécanisme de réglage grossier et dispositif de réglage serré. Transformateur de tension large intégré 90 - 240V, sortie d'alimentation simple |
Coaxial, course de réglage grossier 33mm, précision de réglage fin 0001mm, avec position supérieure du mécanisme de réglage grossier et dispositif de réglage serré. Transformateur de tension large intégré 90 - 240V, sortie d'alimentation à deux voies |
Système d'éclairage réfléchissant |
Avec diaphragme à champ de vision variable et diaphragme d'ouverture, Centre réglable; Avec fente pour filtre de couleur et fente pour dispositif polarisant; Avec barre de commutation d'éclairage oblique, lampe halogène 12v100w, intensité lumineuse réglable en continu |
|
Système d'éclairage par transmission |
/ |
Une seule LED haute puissance 5W, blanche, intensité lumineuse réglable en continu. N..a.0.5 condenseur avec diaphragme à ouverture variable |
