Dans de nombreuses applications de gaz ultra - pur, telles que l'industrie des semi - conducteurs, l'humidité résiduelle dans les gaz est essentielle au bon fonctionnement du traitement des processus. La mesure continue de l'humidité a toujours été difficile, nécessitant l'utilisation d'Analyseurs d'humidité sophistiqués ou de techniques d'analyse coûteuses. Cependant, les compteurs de Millar sont actuellement sur le marché avec un système simple, économique et assez efficace pour mesurer les valeurs de point de rosée en ligne avec une limite inférieure de - 120 ° C (équivalent à moins de 1 ppb).V). Le transmetteur Pura est le premier transmetteur à bas prix adapté à l'industrie de la fabrication de semi - conducteurs et aux applications de gaz ultra - Purs, basé sur des années d'expérience professionnelle dans la production et le contrôle de capteurs de point de rosée d'impédance, combinées à des matériaux et des processus de fabrication industrialisés standard. Highlights Limite inférieure de mesure - 120 °C point de rosée (1 ppb)V) et Mesure stable, bonne répétabilité Dispositif d'échantillonnage hautement intégré Sorties analogiques et numériques Installation facile Interface de processus VCR Design compact et petit Unité d'affichage / alarme en option
indicateurs techniques
Capteurs Type de capteur Capteur d'humidité en céramique miesel Gamme de mesure - 120 ~ - 40 ° C point de rosée (contrôle à - 100 ~ - 40 ° c) Précision ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ± 4 °C - 101 ~ - 120 °C (estimation) Résolution 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C La pression Minimum 10 - 9 Torr; Jusqu'à 24 MPA Débit de gaz 1 à 5 Nl/min Électrique alimentation Normalement 24 V DC, minimum 10 V ~ maximum 28 V, courant maximum 25 ma sortie Sortie 4 - 20 ma, la plage correspondante peut être ajustée par le logiciel spécial, plage de réglage de 1 ~ 80 ° C (fourni en standard) Charge maximale = 100 Ω + 50 Ω X (V Power - 8) État d'erreur de sortie Le message d'erreur de sortie standard est le suivant: 23 ma = capteur défectueux; 20 ma = supercap; 4 ma = limite supérieure Propriétés mécaniques Manchon de capteur Acier inoxydable, polissage interne par placage de 0,1 à 0,2 ra µm Port de connexion de voie de gaz Type Premium ou OEM: Interface VCR ¼ 'm Modèle Pura sensor: Interface VCR ½ 'm Configuration de l'installation Type Premium ou OEM: 120,00 mm de long, la surface d'extrémité du port de la route de gaz est scellée. Pas besoin de réserver des vides de ligne 2 trous de montage M4 x 0,7 de 7 mm de profondeur sur la base, diagonalement espacés de 20 x 20 mm Modèle Pura sensor: disponible dans le port ½ 'VCR fourni par l'utilisateur taille Modèle Premium ou OEM: 120 x 35 x 150mM Capteur Pura 型: 132 x 35 mm poids Modèle Premium ou OEM: 450g Capteur Pura 型: 180g Emballage Pura: Double emballage, remplissage de gaz inerte scellé Pura OEM ou Pura Sensor type: emballage simple couche Tous les accessoires sélectionnés: emballage individuel transport Modèle Sensor avec étui de protection à l'extrémité de la puce de détection pour le transport et le fonctionnement