Aperçu

Les usines de fabrication de semi - conducteurs, les centres de nanotechnologie, les nanousines et autres centres de fabrication et de recherche de précision combinent souvent des salles blanches avec des systèmes de faux - sol mobiles pour répondre aux exigences complexes des installations (tuyaux, câbles, gazoducs, etc.) et maintenir des normes de nettoyage strictes. Un tel sol n'est pas adapté aux équipements de production, de détection et de métrologie sensibles aux vibrations. Le sol actif ne peut pas fournir l'environnement vibratoire silencieux nécessaire pour ces outils. L'île quiet de TMC offre une solution innovante en remplaçant une partie de la surface active du sol par une « île tranquille» fixée au sol du sous - sol. Quiet Island comprend un toit de plate - forme pour une salle blanche compatible et une structure de support spécifique à l'application et au site.

Annulation de vibration

Les principaux éléments de support et la technologie de base de quiet Island * * sont intégrés dans le système antivibratoire actif stacis III. Ce système de support inertiel antivibratoire de type « rigide » est idéal pour tout instrument sensible aux vibrations et permet à ce type d'outil de fonctionner * * à des normes élevées dans des environnements bruyants. Stacis III est compatible avec les outils d'usinage de plaquettes automatisés, les outils d'imagerie par faisceau d'électrons haute résolution, les outils de fraisage par faisceau d'ions et tout outil doté d'un système d'isolation interne passive ou active (voir notre livre blanc sur l'empilage des isolateurs actifs sur les isolateurs actifs). En outre, il offre * * isolation vibratoire sur * * une large gamme de fréquences. Et la conception "Hard Mount" est très rigide, de sorte qu'il n'y aura pas de problèmes de stabilité pour les outils plus élevés, plus lourds et plus légers.

Risers et supports

Les Risers extrêmement robustes et durables utilisés pour supporter les isolateurs stacis ont été conçus par l'équipe d'ingénierie expérimentée de TMC et fabriqués dans notre usine ISO 9001 selon des normes élevées et des spécifications certifiées pour le soudage. Chaque île quiet a été soigneusement conçue pour s'adapter à une variété de hauteurs de sol actives, de géométries de sol sous - jacentes et de tailles d'outils. Avec des milliers d'unités installées dans le monde entier supportant plus de 200 modèles d'instruments différents, TMC possède les connaissances et l'expérience nécessaires pour concevoir des structures de support qui répondent aux besoins de stacis et de vos installations.

Plateforme rigide

La plate - forme se compose d'un sandwich de tôle d'acier de 4 pouces (100 mm) d'épaisseur conçu et fabriqué par TMC, dans lequel la tôle d'acier est prise en sandwich autour d'un matériau de noyau léger, incompressible et amortissant. L'effet de stratification de la tôle d'acier rigide et du noyau collé en époxy dans un disque d'acier inoxydable sans soudure offre une rigidité et un amortissement structurel extrêmement élevés. La grande section transversale et la teneur en acier produisent une rigidité globale très élevée. Le dessus et les côtés sont un boîtier continu en acier inoxydable d'une seule pièce pour maintenir la propreté, la beauté et l'intégrité. TMC peut concevoir et fabriquer des plates - formes spécifiques à l'application, y compris des découpes, des formes spéciales, des trous de fixation et des boulons à anneau de levage, selon les besoins.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Avantages de quiet Island

L'utilisation de la technologie active piézoélectrique antivibratoire de stacis - TMC Industry * *, la conception "Hard Mount" et l'isolation vibratoire à partir de 0,6 Hz sont compatibles avec les outils avec un isolateur de vibration intégré.

Flexibilité pour la modularité, la personnalisation et le repositionnement - chaque plate - forme est adaptée à l'application du client, mais contrairement aux plates - formes en béton, celles - ci peuvent être facilement reconfigurées si les outils ou les caractéristiques du sol changent.

Expertise - TMC possède une vaste expérience de travail avec * * des fabricants de semi - conducteurs, des instituts de recherche scientifique et des OEM ultra - précis. Nous comprenons nos clients et leurs besoins. Nous concevons et fabriquons nous - mêmes.

Performance

Sur l'île de quiet de 24 pouces de haut, 40 pouces x 60 pouces, support stacis 4 places,
Taux de transfert mesuré sous entrée VC - C depuis le sol

Spécifications

Spécifications de performance

Exigences de conception, de taille, d'environnement et d'utilité des isolateurs de vibrations

Spécifications du contrôleur DC - 2020

Autres paramètres

AutresConfiguration de quiet Island

Les instruments de grande taille qui n'ont pas de spécifications de vibrations ambiantes nécessitent généralement un support rigide et stable séparé du sol actif. Rigide quiet Island est la solution idéale. Avec le même toit de plate - forme haute performance, le quiet Island rigide peut également être conçu sur mesure pour n'importe quelle hauteur, n'importe quelle géométrie de sol au rez - de - chaussée pour les salles blanches au sol mobiles et pour une variété de tailles d'outils. TMC offre une gamme de différents types de piliers pour répondre à une variété de besoins, résultant en une solution modulaire, flexible et évolutive spécifique à l'instrumentation et à l'usine.

Appliquer des photos

En raison de l'installation dans notre île de quiet ® Complexité, sensibilité et valeur de l'équipement sur la plate - forme au sol sous - jacente, nous n'avons pas créé de catalogue standard pour la commandeNuméro.

Nous pensons que chaque plate - forme devrait être conçue sur mesure pour une application spécifique. Les étapes de commande recommandées sont les suivantes:

▪ Parlez - nous de l'appareil ou de l'instrument que vous souhaitez isoler. Comme nous avons installé des milliers d'unités, nous avons probablement déjà une conception de plate - forme qui répond aux exigences de votre application. De plus, nous sommes en contact étroit avec les fabricants de steppers, aligneurs, SEM et autres outils, nous sommes donc au courant * * des nouvelles spécifications en matière de dimensions, de formes, de variations de poids et de vibrations au sol.

▪ Alternativement, vous voudrez peut - être une plate - forme adaptée à un système de grille au sol actif. Les clients choisissent généralement une plate - forme de 47 x 47 pouces (1190 x 1190 mm) pour remplacer les carreaux de sol pairs.

▪ Parlez - nous de la hauteur de votre terrain actif au - dessus du sol du sous - sol solide.

▪ Veuillez nous décrire ou nous fournir une illustration montrant tout motif de trou dans la géométrie de votre sous - sol ou de votre poutre / treillis en acier.

▪ Veuillez nous fournir des données sur les vibrations du sol ou discuter avec nous de la façon de prendre des dispositions pour les mesurer.

▪ Tenez compte de la sensibilité aux vibrations de l'instrument. Nos piliers rigides et non résonnants sont conçus pour fournir un soutien adéquat à de nombreux outils. Les applications plus sensibles nécessiteront un support pneumatique ou piézoélectrique