L'algorithme de contrôle permet un contrôle de shunt stable en contrôlant le rapport de débit, tout en contrôlant la pression de montée du FS - 3000 avec la technologie d'optimisation de contrôle horiba Stec. De plus, l'algorithme de contrôle permet une réponse à grande vitesse au shunt même si le rapport de shunt change.

• Améliorez l'évolutivité, les performances de maintenance. Le FS - 3000 peut séparer jusqu'à 15 canaux grâce au traitement du signal à haute vitesse. Si le MFC est défectueux, il suffit de remplacer l'esclave défectueux.

• Spécifications requises pour une réponse flexible le FS - 3000 prend en charge une large gamme de gaz, y compris les gaz mélangés. En outre, le FS - 3000 prend également en charge des interfaces utilisateur telles que RS - 485, devicenet, etc.