FD - 9104pa machine de polissage de plaquettes de silicium
Utilisation principale:
Largement utilisé sur une seule face de feuilles de silicium de plusieurs taillesPolissage et polissage miroir.
Paramètres de l'équipement:
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Taille du disque de polissage |
Φ910mm |
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Station de travail |
4 groupes |
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Diamètre des ventouses en céramique |
Φ400mm |
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Mode de pressurisation |
Pressurisation du cylindre |
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Puissance du moteur principal |
7.5KW/380V |
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Puissance d'entraînement de disque de pièce |
0.4KW/380V |
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Pression d'air de travail |
0.4-0.6MPa |
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Vitesse de rotation du disque de la pièce |
5-40RPM |
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Vitesse de rotation du disque de polissage |
10-80RPM |
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Rugosité de traitement |
Ra:0.0002 |
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Poids total de l'équipement |
2300kg |
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Dimensions extérieures (L*W*H) et |
1650*1200*2300mm |
Effet de cette polisseuse céramique Après polissage:

