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Plate - forme active d'isolation vibratoire stacis IIIC
Vue d'ensemble stacis IIIC est la version compacte du système d'isolation active stacis III * *. Il offre la même excellente isolation vibratoire à un
Détails du produit
Aperçu
Stacis IIIC est la version compacte du système d'isolation active stacis III * *. Il offre la même excellente isolation vibratoire à une hauteur réduite.
Stacis IIIC est idéal pour une utilisation sur des sols mobiles sans ou avec un plancher très bas, car la hauteur du système stacis III standard peut rendre l'instrument trop élevé.
Dans une configuration à trois isolateurs, la hauteur de l'isolateur est inférieure à 60% de la hauteur d'un stacis III classique. Dans les systèmes avec plus de 3 isolateurs, la hauteur sera comprise entre 60 et 70% selon le réglage de la charge utile. Voir les spécifications ci - dessous pour plus de détails.
Stacis IIIC avantages
Par rapport au système stacis III conventionnel, la hauteur * * de l'isolateur est réduite de 42% et les performances ne sont pas réduites.
Stacis est des centaines de fois plus robuste qu'un isolateur d'air et ne présente aucune des limites d'un système d'isolation d'air. Il n’a pas de suspension « douce » et contrairement au système active air, stacis peut être placé sous un outil avec un système d’isolation interne active air vibration, ce qui permet aux deux systèmes de fonctionner * *.
Conception série unique et technologie piézoélectrique haute tension propriétaire
Large bande passante active de 0,6 Hz à 150 Hz et * * isolation active des vibrations avec une réduction de vibration de 90% à partir de 2 Hz.
Performance
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
Spécifications de performance
Spécifications
| Liberté active | 6 |
| Bande passante active | 0.6 Hz - 150 Hz |
| Fréquence intrinsèque passive | 18 Hz vertical et horizontal |
| Fréquence de résonance active efficace | 0.5 Hz |
| Isolation vibratoire à 1 Hz | 40 à 70% |
| Isolation vibratoire à ≥ 2 Hz | ≥ 90% |
| Temps de stabilisation après 10 LB (4,5 kg) pas à pas (réduction de 10: 1) |
0,3 seconde |
| Bruit intérieur | <0.1 nm RMSd> |
| Gamme de charge de travail pour chaque isolateur de vibrations | Faible capacité de charge: 400 - 1100 LB (181 - 499 kg) Capacité de charge moyenne: 900 - 2100 LB (408 - 953 kg) Capacité de charge élevée: 1900 - 4500 LB (862 - 2041 kg) |
| Rigidité (masse de 1 000 LB / 454 kg, isolateur de vibrations à capacité de charge moyenne) | 40 000 livres par pouce (73 x 10)5Vache / mètre) |
| Champ magnétique émis à 4 pouces (102 mm) de l'isolateur de vibration * * | <0.02 μG broadband RMSd> |
Exigences de conception, de taille, d'environnement et d'utilité des isolateurs de vibrations
| Environnement et sécurité | Conforme aux normes ce et ROHS |
| Élément actif d'isolation vibratoire | * * Un actionneur piézoélectrique d'une petite capacité de charge de 1 500 kg (3 300 LB) reçoit le signal d'un amplificateur haute tension avec une sortie allant jusqu'à 800 VDC. L'actionneur vertical supporte la charge utile de l'isolation vibratoire |
| Éléments d'isolation passive des vibrations | Un seul élastomère isotrope rigide (aucune source d'air comprimé requise) |
| Élément de capteur de vibration | Capteur inertiel de type géophone descendant pour mesurer les vibrations du sol sous l'isolateur vibratoire et fournir une tension proportionnelle à la vitesse du mouvement vibratoire |
| Boucle de contrôle active feedback | Mesure, traitement et atténuation des vibrations du sol sous le ressort supportant la surface d'isolation vibratoire |
| Dimensions de l'isolateur de vibrations (largeur x profondeur x hauteur) | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
| Poids de l'isolateur de vibration | 53 livres (24 kg) |
| Température de fonctionnement | 50° - 90°f 10° - 32°C |
| Température de stockage | - 40° - 130°f - 40° - 55°c |
| Humidité | 30 à 60% |
| Exigences de puissance du système | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W Conforme à la norme ce |
| Déplacement du sol | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| Nombre d'isolateurs de vibrations par système | Au moins 3 |
| Accessoires optionnels | Plate - forme en acier inoxydable laminé, cadre, riser, dispositif de nivellement, dispositif antisismique, hotte de levage |
Spécifications du contrôleur DC - 2020
| Dimensions (largeur x profondeur x hauteur) | 19 x 8,5 x 1,75 pouces 483 x 216 x 45 mm |
| Poids | 6,3 livres (2,9 kg) |
| Processeur | Double cœur 150 / 75 MHz |
| Taux d'échantillonnage | 10 kHz |
| Sortie analogique | 16 canaux |
| Entrée analogique | 16 canaux |
| Lampe d'état | Une seule LED |
| Port du panneau avant | 1 x USB 2.0 série 1 x micro - USB série 1 x Ethernet RJ - 45 2 BNC |
| Port du panneau arrière | 1 x USB 2.0 série 1 x Ethernet RJ - 45 1 x RS - 232 DB - 9 série traditionnelle pour les isolateurs de vibrations stacis 2100 traditionnels |
| Interface utilisateur | Écran LCD du panneau avant Menu caractère sur le super Terminal Interface graphique étendue pour Microsoft Windows Gui Ethernet intégré |
Utilisateurs stacis et domaines d'application
1, microélectronique, semi - conducteur
▪ Détection de Wafer
▪ Technologie de microlithographie
▪ Calibration du masque
2, recherche scientifique, nanotechnologie
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3, table laser
▪ Sciences de la vie, recherche et développement pharmaceutique
4, application industrielle
▪ Usinage de précision
Pourquoi choisir un système actif?
▪ Élimine fortement les secousses du sol à partir de < 1hz et la plate - forme pneumatique ne peut pas assurer une isolation efficace des vibrations à cette basse fréquence
▪ Améliorer la qualité, le volume de production
▪ Capacité d'imagerie plus fine
▪ Recherche de pointe
▪ Plus stable qu'une plate - forme pneumatique
▪ Solutions * * qui répondent aux paramètres d'installation du site standard SEM
▪ Réduire les coûts d'ingénierie des nouveaux laboratoires et équipements de recherche
Pourquoi choisir stacis pour les systèmes actifs
▪ Le cœur du chercheur scientifique est centré, offrant un environnement aussi sismique que possible * *.
▪ * * puissant système d'isolation vibratoire basse fréquence sur le marché.
▪ À l'heure actuelle, tous les fabricants de Sem ont publié les paramètres d'installation requis, les paramètres de secousse dont ils ont besoin doivent être satisfaits par un système d'isolation active des vibrations.
▪ Inventé dans les 1990s, stacis * * a été développé par TMC pour développer et installer des milliers de systèmes d'isolation active des vibrations, une solution fiable dans le domaine du contrôle actif des vibrations.
Stacis est quelques centaines plus rigide qu'un isolateur pneumatiqueLe multiple
Le temps de stabilisation en réponse aux perturbations est considérablement réduit en raison de la conception en tandem unique, idéal pour les applications de fabrication mécanique, de charges dynamiques, de lasers ou de sources lumineuses nécessitant l'installation de comptoirs rigides indépendants.
Les avantages suivants sont tous * * dans l'industrie
▪ Stacis a une bande passante d'isolation vibratoire active de 0,6 Hz à 150 Hz
▪ Suppression active des vibrations avec 6 degrés de liberté, isolation contre les vibrations 8 - 10db à 1hz
▪ Isolation vibratoire jusqu'à 90% (20db) à partir de 2 - 3hz
Enquêtes environnementales professionnelles
1, enquête environnementale avant et après l'installation, y compris la secousse, le champ magnétique, les ondes sonores
2. La certification du système environnemental peut être fournie après l'installation
▪ Service d'enquête environnementale parfait
▪ Rédiger un rapport environnemental professionnel
▪ Fournit des solutions de détection de vibrations, de champs magnétiques et d'ondes sonores
▪ TMC recommande des schémas d'utilité aux utilisateurs sur la base de sa vaste expérience
▪ Plus de 40 ans d'expérience dans l'industrie * *
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